內平衡膨脹閥主要由以下部件組成：

閥芯與閥座：這是膨脹閥的核心部件，用於控制制冷劑的流量。閥芯在閥座內的移動可以改變節流口的開度，從而調節制冷劑的流量。

彈簧：彈簧對閥芯施加一定的壓力，使其保持在一個初始位置。這個壓力可以與感溫包內的壓力相平衡，從而控制閥芯的移動。

調節螺釘：調節螺釘用於調整彈簧的預緊力，從而改變閥芯的初始位置。通過調整調節螺釘，可以實現對制冷劑流量的精細調節。

膜片（或波紋薄膜）：膜片是一個關鍵部件，它感受並傳遞來自感溫包和閥後制冷劑的壓力。膜片的上下兩側分別受到不同壓力的作用，從而控制閥芯的移動。

感溫包：感溫包內裝有惰性液體或制冷劑液體，用於感受蒸發器出口制冷劑的溫度。當溫度發生變化時，感溫包內的液體體積會發生變化，從而改變對膜片的壓力。

毛細管：毛細管連接感溫包和膜片上部形成的封閉腔體，用於傳遞感溫包內的壓力變化。

濾網：濾網用於過濾制冷劑中的雜質和顆粒，防止它們進入膨脹閥並影響閥芯的移動。

綜上所述，內平衡膨脹閥通過感溫包感受蒸發器出口制冷劑的溫度變化，並通過膜片、彈簧和閥芯等部件的相互作用來調節制冷劑的流量。這種調節方式可以確保蒸發器內的制冷劑始終保持在適當的壓力和溫度下，從而提高制冷系統的效率和穩定性。